PVD - PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION
Sisteme configurate complet pentru toate tehnicile PVD
Produsele oferite de noi sunt flexibile, modulare si pot fi utilizare pentru cercetare de inalta performanta si productie pilot la scara redusa.
Avem mai multe platforme disponibile, in general in functie de dimensiunea camerei de depunere.
MINILAB 026
MiniLab 026 sunt evaporatoare ultra-compacte, de tip stand-alone, pentru evaporarea de mteale, dielectrici si / sau organice (OLED/PLED).
MINILAB 060
Poate fi configurat de la un sistem de evaporare termica complet manual la un sistem multi-tehnica automatizat complet, flexibil si modular.
MINILAB 080
Cu distanta de aruncare mare, MiniaLab 080 este ideal pentru e-beam si LTE. Exista si posibilitaatea de montare de camere load-lock.
MINILAB 090
MiniLab 090 sunt compatibile GloveBox pentru aplicatii sensibile la atmosfera, au distanta de aruncare mare, ideale pentru e-beam si LTE.
MINILAB 125
MiniLab 125 este foarte util pentru productie la scara mica si cercetare. Camera in forma D cu incarcare frontala este incalzita-racita cu apa si permite cicluri foarte rapide de evaporare sau schimbare a surselor. Se poate livra cu Load-Lock.
NANOPVD
S10A-WA
nanoPVD-S10A permite magnetron sputtering RF si DC de inalta performaanta intr-un format compact. Configuratia Wide extinde capacitatea pana la substraturi de 8 inch.
S10A
Benchtop, la cheie - pentru magnetron sputtering RF si DC de inalta performanta. Compact ca un sputter coater pentru microscopie electronica, insa cu rezultate pentru cercetare.