Depuneir filme subtiri integrate in glovebox

SISTEME INTEGRATE IN GLOVEBOX

Cand este necesara manipularea probei in atmosfera controlata sau inerta, putem oferi sisteme integrate in GloveBox-uri de la diversi producatori. Aceste instrumente pot fi configurate pentru PVD magnetron sputtering, Etching si Annealing (sau combinatii ale acestor tehnici).

EXEMPLE

de sisteme integrate in GloveBox

Integrare in Glovebox

ANNEALING

MiniLab 026 integrat in GloveBox pentru annealing la temperaturi inalte, de xemplu ca parte din procesul de fabricatie al unui dispozitiv.

Integrare in Glovebox

NANOETCHING

MiniLab 026 integrat in GloveBox pentru "soft etching", de exemplu ca parte din procesul de cercetare domeniul grafenei sau a materialelor 2D.

Integrare in Glovebox

PVD

MiniLab 026 si MiniLab 090 integrate in GloveBox pentru depunerea de organice, anorganice si metale.