SISTEME INTEGRATE IN GLOVEBOX
Cand este necesara manipularea probei in atmosfera controlata sau inerta, putem oferi sisteme integrate in GloveBox-uri de la diversi producatori. Aceste instrumente pot fi configurate pentru PVD magnetron sputtering, Etching si Annealing (sau combinatii ale acestor tehnici).
EXEMPLE
de sisteme integrate in GloveBox
ANNEALING
MiniLab 026 integrat in GloveBox pentru annealing la temperaturi inalte, de xemplu ca parte din procesul de fabricatie al unui dispozitiv.
NANOETCHING
MiniLab 026 integrat in GloveBox pentru "soft etching", de exemplu ca parte din procesul de cercetare domeniul grafenei sau a materialelor 2D.
PVD
MiniLab 026 si MiniLab 090 integrate in GloveBox pentru depunerea de organice, anorganice si metale.